EN 62374-1:2010 Halbleiterbauelemente – Teil 1: Zeitabhängiger dielektrischer Durchschlagstest (TDDB) für Zwischenmetallschichten (inkorrigiert mit Berichtigung vom April 2011)
European Committee for Electrotechnical Standardization(CENELEC)
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EN 62374-1:2010
EN 62374-1:2010 Veröffentlichungsverlauf
2010EN 62374-1:2010 Halbleiterbauelemente – Teil 1: Zeitabhängiger dielektrischer Durchschlagstest (TDDB) für Zwischenmetallschichten (inkorrigiert mit Berichtigung vom April 2011)