GB/T 26070-2010
Charakterisierung von Schäden unter der Oberfläche in polierten Verbindungshalbleiterwafern durch Reflexionsdifferenzspektroskopie (Englische Version)
- Standard-Nr.
- GB/T 26070-2010
- Sprachen
- Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
- Erscheinungsdatum
- 2011
- Organisation
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Letzte Version
- GB/T 26070-2010
GB/T 26070-2010 Veröffentlichungsverlauf
- 2011 GB/T 26070-2010 Charakterisierung von Schäden unter der Oberfläche in polierten Verbindungshalbleiterwafern durch Reflexionsdifferenzspektroskopie
