BS EN 62047-6:2010
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien
- Standard-Nr.
- BS EN 62047-6:2010
- Erscheinungsdatum
- 2010
- Organisation
- British Standards Institution (BSI)
- Letzte Version
- BS EN 62047-6:2010
BS EN 62047-6:2010 Veröffentlichungsverlauf
- 2010 BS EN 62047-6:2010 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien
