JIS K 0148:2005
Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).

Standard-Nr.

JIS K 0148:2005

Erscheinungsdatum

2005

Organisation

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Zustand

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ersetzt durch

JIS K 0148 ERRATUM 1:2005

Letzte Version

JIS K 0148 ERRATUM 1:2005

JIS K 0148:2005 Veröffentlichungsverlauf

• 2005 JIS K 0148 ERRATUM 1:2005 ERRATUM
• 2005 JIS K 0148:2005 Chemische Oberflächenanalyse – Bestimmung der Oberflächenelementkontamination auf Siliziumwafern durch Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF).