GOST 26239.8-1984
Halbleitersilizium und Rohstoffe für seine Herstellung. Methode zur Bestimmung von Dichlorsilan, Trichlorsilan und Siliziumtetrachlorid

Standard-Nr.

GOST 26239.8-1984

Erscheinungsdatum

1984

Organisation

RU-GOST R

Letzte Version

GOST 26239.8-1984

GOST 26239.8-1984 Normative Verweisungen

• GOST 18300-1987 Technisch rektifizierter Ethylalkohol. Spezifikationen*， 1987-03-30 Aktualisieren
• GOST 25336-1982 Laborglaswaren und -ausrüstung. Grundlegende Parameter und Abmessungen
• GOST 2603-1979 Reagenzien. Aceton. Spezifikationen
• GOST 26239.0-1984 Halbleitersilizium, Rohstoffe für seine Herstellung und Quarz. Allgemeine Anforderungen an Analysemethoden
• GOST 9293-1974 Gasförmiger und flüssiger Stickstoff. Spezifikationen

GOST 26239.8-1984 Veröffentlichungsverlauf

• 1984 GOST 26239.8-1984 Halbleitersilizium und Rohstoffe für seine Herstellung. Methode zur Bestimmung von Dichlorsilan, Trichlorsilan und Siliziumtetrachlorid