GOST R 8.635-2007
Staatliches System zur Gewährleistung der Einheitlichkeit der Messungen. Rasterkraft-Rastersondenmikroskope. Methode zur Kalibrierung

Standard-Nr.
GOST R 8.635-2007
Erscheinungsdatum
2007
Organisation
RU-GOST R
Letzte Version
GOST R 8.635-2007

GOST R 8.635-2007 Normative Verweisungen

  • GOST 12.2.061-1981 Arbeitssicherheitsnormensystem. Industrielle Ausrüstung. Allgemeine Sicherheitsanforderungen an Arbeitsplätze
  • GOST ISO 14644-1-2002 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen. Teil 1. Klassifizierung der Luftreinheit
  • GOST R 8.628-2007 Staatliches System zur Gewährleistung der Einheitlichkeit der Messungen. Reliefmaße im Nanometerbereich von einkristallinem Silizium. Anforderungen an geometrische Formen, lineare Größen und Auswahl des Fertigungsmaterials
  • GOST R 8.629-2007 Staatliches System zur Gewährleistung der Einheitlichkeit der Messungen. Reliefmaße im Nanometerbereich mit trapezförmigem Profil der Elemente. Methoden zur Überprüfung
  • GOST R ISO 14644-2-2001 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen. Teil 2. Spezifikationen für Tests und Überwachung zum Nachweis der kontinuierlichen Einhaltung von ISO 14644-1
  • GOST R ISO 14644-5-2005 Reinräume und zugehörige kontrollierte Umgebungen. Teil 5. Operationen

GOST R 8.635-2007 Veröffentlichungsverlauf

  • 2007 GOST R 8.635-2007 Staatliches System zur Gewährleistung der Einheitlichkeit der Messungen. Rasterkraft-Rastersondenmikroskope. Methode zur Kalibrierung



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