GB/T 25188-2010
Dickenmessungen für ultradünne Siliziumoxidschichten auf Siliziumwafern. Röntgenphotoelektronenspektroskopie (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 25188-2010

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2010

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Letzte Version

GB/T 25188-2010

GB/T 25188-2010 Normative Verweisungen

• GB/T 19500 Allgemeine Regeln für die röntgenphotoelektronenspektroskopische Analysemethode
• GB/T 21006 Chemische Oberflächenanalyse.Röntgenphotoelektronen- und Auger-Elektronenspektrometer.Linearität der Intensitätsskala
• GB/T 22461 Chemische Oberflächenanalyse. Wortschatz
• GB/T 22571 Chemische Oberflächenanalyse – Röntgenphotoelektronenspektrometer – Kalibrierung von Energieskalen*， 2017-09-07 Aktualisieren

GB/T 25188-2010 Veröffentlichungsverlauf

• 2010 GB/T 25188-2010 Dickenmessungen für ultradünne Siliziumoxidschichten auf Siliziumwafern. Röntgenphotoelektronenspektroskopie