EN 62047-3:2006
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente Teil 3: Dünnfilm-Standardteststück für Zugversuche

Standard-Nr.

EN 62047-3:2006

Erscheinungsdatum

2006

Organisation

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Letzte Version

EN 62047-3:2006

EN 62047-3:2006 Veröffentlichungsverlauf

• 2006 EN 62047-3:2006 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente Teil 3: Dünnfilm-Standardteststück für Zugversuche