IEC 62047-6:2009
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 6: Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien
- Standard-Nr.
- IEC 62047-6:2009
- Erscheinungsdatum
- 2009
- Organisation
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Letzte Version
- IEC 62047-6:2009
- Ersetzen
- IEC 47F/15/FDIS:2009
IEC 62047-6:2009 Veröffentlichungsverlauf
- 2009 IEC 62047-6:2009 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 6: Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien
