GOST R 8.640-2008
Staatliches System zur Gewährleistung der Einheitlichkeit der Messungen. Radiometer zur Messung der ultravioletten Strahlung für die Prüfung von fotolithografischen technologischen Prozessen. Überprüfungsmethoden

Standard-Nr.

GOST R 8.640-2008

Erscheinungsdatum

2008

Organisation

RU-GOST R

Letzte Version

GOST R 8.640-2008

GOST R 8.640-2008 Veröffentlichungsverlauf

• 2008 GOST R 8.640-2008 Staatliches System zur Gewährleistung der Einheitlichkeit der Messungen. Radiometer zur Messung der ultravioletten Strahlung für die Prüfung von fotolithografischen technologischen Prozessen. Überprüfungsmethoden