ASTM F1153-92(1997)
Standardtestmethode zur Charakterisierung von Metalloxid-Silizium (MOS)-Strukturen durch Kapazitäts-Spannungsmessungen

Standard-Nr.

ASTM F1153-92(1997)

Erscheinungsdatum

1992

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F1153-92(2002)

Letzte Version

ASTM F1153-92(2002)

ASTM F1153-92(1997) Normative Verweisungen

• ASTM F388 
• ASTM F576 
• ASTM F723 

ASTM F1153-92(1997) Veröffentlichungsverlauf

• 1970 ASTM F1153-92(2002)
• 1992 ASTM F1153-92(1997) Standardtestmethode zur Charakterisierung von Metalloxid-Silizium (MOS)-Strukturen durch Kapazitäts-Spannungsmessungen