ASTM F950-98
Standardtestmethode zur Messung der Tiefe der Kristallschädigung einer mechanisch bearbeiteten Siliziumscheibenoberfläche durch Winkelpolieren und Defektätzen
- Standard-Nr.
- ASTM F950-98
- Erscheinungsdatum
- 1998
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Zustand
- ersetzt durch
- ASTM F950-02
- Letzte Version
- ASTM F950-02
ASTM F950-98 Normative Verweisungen
- ASTM D1193 Standardspezifikation für Reagenzwasser*， 1999-03-30 Aktualisieren
- ASTM E122 Standardverfahren zur Berechnung der Stichprobengröße, um mit einem angegebenen tolerierbaren Fehler den Durchschnitt der Merkmale einer Charge oder eines Prozesses zu schätzen*， 2000-10-10 Aktualisieren
- ASTM F532
- ASTM F672 Standardtestmethode zur Messung von Widerstandsprofilen senkrecht zur Oberfläche eines Siliziumwafers unter Verwendung einer Ausbreitungswiderstandssonde
ASTM F950-98 Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F950-02
- 1998 ASTM F950-98 Standardtestmethode zur Messung der Tiefe der Kristallschädigung einer mechanisch bearbeiteten Siliziumscheibenoberfläche durch Winkelpolieren und Defektätzen
