ASTM F81-00
Standardtestmethode zur Messung der radialen Widerstandsschwankung auf Siliziumwafern

Standard-Nr.

ASTM F81-00

Erscheinungsdatum

2000

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F81-01

Letzte Version

ASTM F81-01

ASTM F81-00 Normative Verweisungen

• ASTM F84 

ASTM F81-00 Veröffentlichungsverlauf

• 1970 ASTM F81-01
• 2000 ASTM F81-00 Standardtestmethode zur Messung der radialen Widerstandsschwankung auf Siliziumwafern