ASTM F2113-01e1
Standardhandbuch für die Analyse und Berichterstattung des Verunreinigungsgehalts und der Güte hochreiner metallischer Sputtertargets für elektronische Dünnschichtanwendungen

Standard-Nr.

ASTM F2113-01e1

Erscheinungsdatum

2001

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F2113-01(2007)

Letzte Version

ASTM F2113-01(2011)

ASTM F2113-01e1 Veröffentlichungsverlauf

• 2001 ASTM F2113-01(2011) Standardhandbuch für die Analyse und Berichterstattung des Verunreinigungsgehalts und der Güte hochreiner metallischer Sputtertargets für elektronische Dünnschichtanwendungen
• 2007 ASTM F2113-01(2007) Standardhandbuch für die Analyse und Berichterstattung des Verunreinigungsgehalts und der Güte hochreiner metallischer Sputtertargets für elektronische Dünnschichtanwendungen
• 2001 ASTM F2113-01e1 Standardhandbuch für die Analyse und Berichterstattung des Verunreinigungsgehalts und der Güte hochreiner metallischer Sputtertargets für elektronische Dünnschichtanwendungen
• 2001 ASTM F2113-01 Standardhandbuch für die Analyse und Berichterstattung des Verunreinigungsgehalts und der Güte hochreiner metallischer Sputtertargets für elektronische Dünnschichtanwendungen