ASTM F2113-01e1
Standardhandbuch für die Analyse und Berichterstattung des Verunreinigungsgehalts und der Güte hochreiner metallischer Sputtertargets für elektronische Dünnschichtanwendungen

Standard-Nr.
ASTM F2113-01e1
Erscheinungsdatum
2001
Organisation
American Society for Testing and Materials (ASTM)
Zustand
ersetzt durch
ASTM F2113-01(2007)
Letzte Version
ASTM F2113-01(2011)

ASTM F2113-01e1 Veröffentlichungsverlauf

  • 2001 ASTM F2113-01(2011) Standardhandbuch für die Analyse und Berichterstattung des Verunreinigungsgehalts und der Güte hochreiner metallischer Sputtertargets für elektronische Dünnschichtanwendungen
  • 2007 ASTM F2113-01(2007) Standardhandbuch für die Analyse und Berichterstattung des Verunreinigungsgehalts und der Güte hochreiner metallischer Sputtertargets für elektronische Dünnschichtanwendungen
  • 2001 ASTM F2113-01e1 Standardhandbuch für die Analyse und Berichterstattung des Verunreinigungsgehalts und der Güte hochreiner metallischer Sputtertargets für elektronische Dünnschichtanwendungen
  • 2001 ASTM F2113-01 Standardhandbuch für die Analyse und Berichterstattung des Verunreinigungsgehalts und der Güte hochreiner metallischer Sputtertargets für elektronische Dünnschichtanwendungen



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