ASTM F1894-98
Testmethode zur Quantifizierung von Wolframsilizid-Halbleiterprozessfilmen hinsichtlich Zusammensetzung und Dicke

Standard-Nr.

ASTM F1894-98

Erscheinungsdatum

1998

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F1894-98(2003)

Letzte Version

ASTM F1894-98(2011)

ASTM F1894-98 Veröffentlichungsverlauf

• 1998 ASTM F1894-98(2011) Testmethode zur Quantifizierung von Wolframsilizid-Halbleiterprozessfilmen hinsichtlich Zusammensetzung und Dicke
• 1998 ASTM F1894-98(2003) Testmethode zur Quantifizierung von Wolframsilizid-Halbleiterprozessfilmen hinsichtlich Zusammensetzung und Dicke
• 1998 ASTM F1894-98 Testmethode zur Quantifizierung von Wolframsilizid-Halbleiterprozessfilmen hinsichtlich Zusammensetzung und Dicke