ASTM F1527-00 Standardhandbuch für die Anwendung von Silizium-Standardreferenzmaterialien und Referenzwafern zur Kalibrierung und Steuerung von Instrumenten zur Messung des spezifischen Widerstands von Silizium
2000ASTM F1527-00 Standardhandbuch für die Anwendung von Silizium-Standardreferenzmaterialien und Referenzwafern zur Kalibrierung und Steuerung von Instrumenten zur Messung des spezifischen Widerstands von Silizium