ASTM F390-98(2003)
Standardtestmethode für den Schichtwiderstand dünner Metallfilme mit einem kollinearen Vier-Sonden-Array

Standard-Nr.

ASTM F390-98(2003)

Erscheinungsdatum

1998

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F390-11

Letzte Version

ASTM F390-11

ASTM F390-98(2003) Veröffentlichungsverlauf

• 2011 ASTM F390-11 Standardtestmethode für den Schichtwiderstand dünner Metallfilme mit einem kollinearen Vier-Sonden-Array
• 1998 ASTM F390-98(2003) Standardtestmethode für den Schichtwiderstand dünner Metallfilme mit einem kollinearen Vier-Sonden-Array
• 1998 ASTM F390-98 Standardtestmethode für den Schichtwiderstand dünner Metallfilme mit einem kollinearen Vier-Sonden-Array