ASTM F1366-92(1997)e1
Standardtestmethode zur Messung der Sauerstoffkonzentration in stark dotierten Siliziumsubstraten mittels Sekundärionen-Massenspektrometrie
- Standard-Nr.
- ASTM F1366-92(1997)e1
- Erscheinungsdatum
- 1992
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Zustand
- ersetzt durch
- ASTM F1366-92(2002)
- Letzte Version
- ASTM F1366-92(2002)
ASTM F1366-92(1997)e1 Normative Verweisungen
- ASTM E122 Standardverfahren zur Berechnung der Stichprobengröße, um mit einem angegebenen tolerierbaren Fehler den Durchschnitt der Merkmale einer Charge oder eines Prozesses zu schätzen*， 2000-10-10 Aktualisieren
- ASTM F1188
- ASTM F43
- ASTM F723
ASTM F1366-92(1997)e1 Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F1366-92(2002)
- 1992 ASTM F1366-92(1997)e1 Standardtestmethode zur Messung der Sauerstoffkonzentration in stark dotierten Siliziumsubstraten mittels Sekundärionen-Massenspektrometrie
