ASTM F576-00
Standardtestmethode zur Messung der Isolatordicke und des Brechungsindex auf Siliziumsubstraten durch Ellipsotrie

Standard-Nr.
ASTM F576-00
Erscheinungsdatum
2000
Organisation
American Society for Testing and Materials (ASTM)
Zustand
ersetzt durch
ASTM F576-01
Letzte Version
ASTM F576-01

ASTM F576-00 Normative Verweisungen

  • ASTM C31/C31M Standardpraxis für die Herstellung und Aushärtung von Betonprüfkörpern vor Ort
  • ASTM D5127 Standardhandbuch für Reinstwasser zur Verwendung in der Elektronik- und Halbleiterindustrie
  • ASTM E177 Standardpraxis für die Verwendung der Begriffe Präzision und Bias in ASTM-Testmethoden
  • ASTM E284 Standardterminologie des Aussehens
  • ASTM F95 

ASTM F576-00 Veröffentlichungsverlauf

  • 1970 ASTM F576-01
  • 2000 ASTM F576-00 Standardtestmethode zur Messung der Isolatordicke und des Brechungsindex auf Siliziumsubstraten durch Ellipsotrie
Standardtestmethode zur Messung der Isolatordicke und des Brechungsindex auf Siliziumsubstraten durch Ellipsotrie



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