ASTM F576-00
Standardtestmethode zur Messung der Isolatordicke und des Brechungsindex auf Siliziumsubstraten durch Ellipsotrie
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ASTM F576-00
Standard-Nr.
ASTM F576-00
Erscheinungsdatum
2000
Organisation
American Society for Testing and Materials (ASTM)
Zustand
ersetzt werden
ersetzt durch
ASTM F576-01
Letzte Version
ASTM F576-01
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ASTM F576-00 Veröffentlichungsverlauf
1970
ASTM F576-01
2000
ASTM F576-00
Standardtestmethode zur Messung der Isolatordicke und des Brechungsindex auf Siliziumsubstraten durch Ellipsotrie
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