ASTM F847-94(1999)
Standardtestmethoden zur Messung der kristallographischen Ausrichtung von Flächen auf einkristallinen Siliziumwafern durch Röntgentechniken
- Standard-Nr.
- ASTM F847-94(1999)
- Erscheinungsdatum
- 1994
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Zustand
- ersetzt durch
- ASTM F847-02
- Letzte Version
- ASTM F847-02
ASTM F847-94(1999) Normative Verweisungen
- ASTM E122 Standardverfahren zur Berechnung der Stichprobengröße, um mit einem angegebenen tolerierbaren Fehler den Durchschnitt der Merkmale einer Charge oder eines Prozesses zu schätzen*， 2000-10-10 Aktualisieren
- ASTM E82 Standardtestmethode zur Bestimmung der Orientierung eines Metallkristalls
- ASTM F26
ASTM F847-94(1999) Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F847-02
- 1994 ASTM F847-94(1999) Standardtestmethoden zur Messung der kristallographischen Ausrichtung von Flächen auf einkristallinen Siliziumwafern durch Röntgentechniken
