ISO/TTA 4:2002
Messung der Wärmeleitfähigkeit dünner Filme auf Siliziumsubstraten
- Standard-Nr.
- ISO/TTA 4:2002
- Erscheinungsdatum
- 2002
- Organisation
- International Organization for Standardization (ISO)
- Letzte Version
- ISO/TTA 4:2002
ISO/TTA 4:2002 Veröffentlichungsverlauf
- 2002 ISO/TTA 4:2002 Messung der Wärmeleitfähigkeit dünner Filme auf Siliziumsubstraten
