BS EN 62047-2:2006
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 2: Zugprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien

Standard-Nr.

BS EN 62047-2:2006

Erscheinungsdatum

2006

Organisation

British Standards Institution (BSI)

Letzte Version

BS EN 62047-2:2006

BS EN 62047-2:2006 Normative Verweisungen

• ISO 6892 Metallische Werkstoffe – Zugversuch bei Umgebungstemperatur

BS EN 62047-2:2006 Veröffentlichungsverlauf

• 2006 BS EN 62047-2:2006 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 2: Zugprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien