GB/T 17866-1999
Leitfaden für programmierte Defektmasken und Benchmark-Verfahren zur Sensitivitätsanalyse von Maskendefekt-Inspektionssystemen (Englische Version)

Standard-Nr.

GB/T 17866-1999

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

1999

Organisation

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Letzte Version

GB/T 17866-1999

GB/T 17866-1999 Veröffentlichungsverlauf

• 1999 GB/T 17866-1999 Leitfaden für programmierte Defektmasken und Benchmark-Verfahren zur Sensitivitätsanalyse von Maskendefekt-Inspektionssystemen