DIN 50434:1986
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik; Erkennung von Kristalldefekten in monokristallinem Silizium mittels Ätztechniken auf {111}- und {100}-Oberflächen
- Standard-Nr.
- DIN 50434:1986
- Erscheinungsdatum
- 1986
- Organisation
- German Institute for Standardization
- Zustand
- Letzte Version
- DIN 50434:1986
DIN 50434:1986 Veröffentlichungsverlauf
- 1986 DIN 50434:1986 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik; Erkennung von Kristalldefekten in monokristallinem Silizium mittels Ätztechniken auf {111}- und {100}-Oberflächen
