DIN 50441-3:1985
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik; Messung der geometrischen Abmessungen von Halbleiterscheiben; Bestimmung der Ebenheitsabweichung polierter Scheiben mittels Mehrstrahlinterferenz

Standard-Nr.

DIN 50441-3:1985

Erscheinungsdatum

1985

Organisation

German Institute for Standardization

Zustand

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DIN 50441-3:1985

DIN 50441-3:1985 Veröffentlichungsverlauf

• 1985 DIN 50441-3:1985 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik; Messung der geometrischen Abmessungen von Halbleiterscheiben; Bestimmung der Ebenheitsabweichung polierter Scheiben mittels Mehrstrahlinterferenz