DIN 50446:1995
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Bestimmung von Defektarten und Defektdichten von Silizium-Epitaxieschichten

Standard-Nr.

DIN 50446:1995

Erscheinungsdatum

1995

Organisation

German Institute for Standardization

Zustand

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DIN 50446:1995

DIN 50446:1995 Veröffentlichungsverlauf

• 1995 DIN 50446:1995 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Bestimmung von Defektarten und Defektdichten von Silizium-Epitaxieschichten