NF EN 62047-25:2016
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 25: Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie – Verfahren zur Messung der Zug-Druck- und Scherfestigkeit einer Mikrolotzone

Standard-Nr.

NF EN 62047-25:2016

Erscheinungsdatum

2016

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

NF EN 62047-25:2016

NF EN 62047-25:2016 Veröffentlichungsverlauf

• 2016 NF EN 62047-25:2016 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 25: Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie – Verfahren zur Messung der Zug-Druck- und Scherfestigkeit einer Mikrolotzone