YS/T 25-1992
Verfahren zur Reinigung der Silizium-Polierwaferoberfläche (Englische Version)

Standard-Nr.

YS/T 25-1992

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

1992

Organisation

中国有色金属工业总公司

Letzte Version

YS/T 25-1992

YS/T 25-1992 Veröffentlichungsverlauf

• 1992 YS/T 25-1992 Verfahren zur Reinigung der Silizium-Polierwaferoberfläche