DIN EN 62047-18 E:2011-06
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien
- Standard-Nr.
- DIN EN 62047-18 E:2011-06
- Erscheinungsdatum
- 1970
- Organisation
- /
- Zustand
- 2014-04
- ersetzt durch
- DIN EN 62047-18:2014
- Letzte Version
- DIN EN 62047-18:2014-04
DIN EN 62047-18 E:2011-06 Veröffentlichungsverlauf
- 2014 DIN EN 62047-18:2014-04 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien (IEC 62047-18:2013); Deutsche Fassung EN 62047-18:2013
- 2014 DIN EN 62047-18:2014 Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Bauelemente - Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien (IEC 62047-18:2013); Deutsche Fassung EN 62047-18:2013
- 1970 DIN EN 62047-18 E:2011-06 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 18: Biegeprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien
