CEI EN 62047-10:2012
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien

Standard-Nr.

CEI EN 62047-10:2012

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

SCC

Letzte Version

CEI EN 62047-10:2012

CEI EN 62047-10:2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 CEI EN 62047-10:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien