DIN 50438-1:1995
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Bestimmung des Verunreinigungsgehalts in Silizium durch Infrarotabsorption – Teil 1: Sauerstoff

Standard-Nr.
DIN 50438-1:1995
Erscheinungsdatum
1995
Organisation
German Institute for Standardization
Zustand
Letzte Version
DIN 50438-1:1995

DIN 50438-1:1995 Veröffentlichungsverlauf

  • 1995 DIN 50438-1:1995 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Bestimmung des Verunreinigungsgehalts in Silizium durch Infrarotabsorption – Teil 1: Sauerstoff
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnik – Bestimmung des Verunreinigungsgehalts in Silizium durch Infrarotabsorption – Teil 1: Sauerstoff



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