YS/T 1164-2016 Bestimmung des Verunreinigungsgehalts in hochreinen Quarzprodukten für Siliziummaterialien durch optische Emissionsspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (Englische Version)
2016YS/T 1164-2016 Bestimmung des Verunreinigungsgehalts in hochreinen Quarzprodukten für Siliziummaterialien durch optische Emissionsspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma