EN 62047-25:2016
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 25: Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie – Messverfahren für Zug-Druck- und Scherfestigkeit des Mikrobondbereichs

Standard-Nr.

EN 62047-25:2016

Erscheinungsdatum

2016

Organisation

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

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EN 62047-25:2016

EN 62047-25:2016 Veröffentlichungsverlauf

• 2016 EN 62047-25:2016 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 25: Siliziumbasierte MEMS-Fertigungstechnologie – Messverfahren für Zug-Druck- und Scherfestigkeit des Mikrobondbereichs