ASTM F928-93(1999)
Standardtestmethoden für die Kantenkontur von kreisförmigen Halbleiterwafern und starren Scheibensubstraten
- Standard-Nr.
- ASTM F928-93(1999)
- Erscheinungsdatum
- 2002
- Organisation
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- Zustand
- ersetzt durch
- ASTM F928-02
- Letzte Version
- ASTM F928-02
ASTM F928-93(1999) Normative Verweisungen
- ASTM E122 Standardverfahren zur Berechnung der Stichprobengröße, um mit einem angegebenen tolerierbaren Fehler den Durchschnitt der Merkmale einer Charge oder eines Prozesses zu schätzen
ASTM F928-93(1999) Veröffentlichungsverlauf
- 1970 ASTM F928-02
- 2002 ASTM F928-93(1999) Standardtestmethoden für die Kantenkontur von kreisförmigen Halbleiterwafern und starren Scheibensubstraten
