YS/T 1060-2015
Bestimmung anderer Chlorsilane in Trichlorsilan für die Siliziumepitaxie mittels Gaschromatographie (Englische Version)

Standard-Nr.

YS/T 1060-2015

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2015

Organisation

工业和信息化部

Letzte Version

YS/T 1060-2015

YS/T 1060-2015 Veröffentlichungsverlauf

• 2015 YS/T 1060-2015 Bestimmung anderer Chlorsilane in Trichlorsilan für die Siliziumepitaxie mittels Gaschromatographie