EN 62047-6:2010
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 6: Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien

Standard-Nr.

EN 62047-6:2010

Erscheinungsdatum

2010

Organisation

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Letzte Version

EN 62047-6:2010

EN 62047-6:2010 Veröffentlichungsverlauf

• 2010 EN 62047-6:2010 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 6: Axiale Ermüdungsprüfverfahren für Dünnschichtmaterialien