BH GSO IEC 62047-10:2016
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien

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BH GSO IEC 62047-10:2016 Veröffentlichungsverlauf

• 1970 BH GSO IEC 62047-10:2016 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 10: Mikrosäulen-Kompressionstest für MEMS-Materialien