T/GVS 005-2022
Prüfspezifikation für die Kontrastmethode des Absolutdruck-Kapazitäts-Membran-Vakuummeters in der Halbleiterausrüstung (Englische Version)
- Standard-Nr.
- T/GVS 005-2022
- Sprachen
- Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
- Erscheinungsdatum
- 2022
- Organisation
- Group Standards of the People's Republic of China
- Letzte Version
- T/GVS 005-2022
T/GVS 005-2022 Veröffentlichungsverlauf
- 2022 T/GVS 005-2022 Prüfspezifikation für die Kontrastmethode des Absolutdruck-Kapazitäts-Membran-Vakuummeters in der Halbleiterausrüstung
