SEMI M3.6-1988
Standard für 3-Zoll-Substrate aus recyceltem Saphir

Standard-Nr.

SEMI M3.6-1988

Erscheinungsdatum

1988

Organisation

Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

Letzte Version

SEMI M3.6-1988

SEMI M3.6-1988 Veröffentlichungsverlauf

• 1988 SEMI M3.6-1988 Standard für 3-Zoll-Substrate aus recyceltem Saphir