SEMI M3.5-1992
Standard für 100-mm-Saphirsubstrate

Standard-Nr.

SEMI M3.5-1992

Erscheinungsdatum

1992

Organisation

Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

Letzte Version

SEMI M3.5-1992

SEMI M3.5-1992 Veröffentlichungsverlauf

• 1992 SEMI M3.5-1992 Standard für 100-mm-Saphirsubstrate