SEMI M3.2-1991
Standard für 2-Zoll-Saphirsubstrate

Standard-Nr.

SEMI M3.2-1991

Erscheinungsdatum

1991

Organisation

Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)

Letzte Version

SEMI M3.2-1991

SEMI M3.2-1991 Veröffentlichungsverlauf

• 1991 SEMI M3.2-1991 Standard für 2-Zoll-Saphirsubstrate