T/CMES 32001-2023
Prozessspezifikation für die Herstellung eines Dünnschicht-Thermoelement-Temperatursensors aus einer Wolfram-Rhenium-Legierung und einem Indium-Zinnoxid-Verbund durch Magnetron-Sputtering-Methode (Englische Version)

Standard-Nr.

T/CMES 32001-2023

Sprachen

Chinesisch, Verfügbar auf Englisch

Erscheinungsdatum

2023

Organisation

Group Standards of the People's Republic of China

Letzte Version

T/CMES 32001-2023

T/CMES 32001-2023 Veröffentlichungsverlauf

• 2023 T/CMES 32001-2023 Prozessspezifikation für die Herstellung eines Dünnschicht-Thermoelement-Temperatursensors aus einer Wolfram-Rhenium-Legierung und einem Indium-Zinnoxid-Verbund durch Magnetron-Sputtering-Methode