ASTM F1709-97
Standardspezifikation für Sputtertargets aus hochreinem Titan für elektronische Dünnschichtanwendungen

Standard-Nr.

ASTM F1709-97

Erscheinungsdatum

1996

Organisation

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Zustand

ersetzt werden

ersetzt durch

ASTM F1709-97(2002)

Letzte Version

ASTM F1709-97(2016)

ASTM F1709-97 Veröffentlichungsverlauf

• 2016 ASTM F1709-97(2016) Standardspezifikation für Sputtertargets aus hochreinem Titan für elektronische Dünnschichtanwendungen
• 1997 ASTM F1709-97(2008) Standardspezifikation für Sputtertargets aus hochreinem Titan für elektronische Dünnschichtanwendungen
• 1997 ASTM F1709-97(2002) Standardspezifikation für Sputtertargets aus hochreinem Titan für elektronische Dünnschichtanwendungen
• 1996 ASTM F1709-97 Standardspezifikation für Sputtertargets aus hochreinem Titan für elektronische Dünnschichtanwendungen