T/CASAS 013-2021
Messmethode zur Prüfung der Versetzungsdichte in SiC-Kristallen. Kombinierte KOH-Ätz- und Bilderkennungsmethoden (Englische Version)

Standard-Nr.
T/CASAS 013-2021
Sprachen
Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
Erscheinungsdatum
2021
Organisation
Group Standards of the People's Republic of China
Letzte Version
T/CASAS 013-2021

T/CASAS 013-2021 Veröffentlichungsverlauf

  • 2021 T/CASAS 013-2021 Messmethode zur Prüfung der Versetzungsdichte in SiC-Kristallen. Kombinierte KOH-Ätz- und Bilderkennungsmethoden
Messmethode zur Prüfung der Versetzungsdichte in SiC-Kristallen. Kombinierte KOH-Ätz- und Bilderkennungsmethoden



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