DIN EN ISO 25178-604:2013-12
Geometrische Produktspezifikation (GPS) – Oberflächenbeschaffenheit: Fläche – Teil 604: Nominelle Eigenschaften von berührungslosen Instrumenten (Kohärenz-Scanning-Interferometrie) (ISO 25178-604:2013); Deutsche Fassung EN ISO 25178-604:2013