GB/T 43313-2023 Prüfung der Oberflächenqualität und Mikroröhrendichte von polierten Siliziumkarbid-Wafern mithilfe der konfokalen Differentialinterferenzmethode (Englische Version)
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
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GB/T 43313-2023
GB/T 43313-2023 Veröffentlichungsverlauf
2023GB/T 43313-2023 Prüfung der Oberflächenqualität und Mikroröhrendichte von polierten Siliziumkarbid-Wafern mithilfe der konfokalen Differentialinterferenzmethode