UNE-EN 62047-13:2012
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Biege- und Schertestmethoden zur Messung der Haftfestigkeit für MEMS-Strukturen (Genehmigt von AENOR im Juni 2012.)
- Standard-Nr.
- UNE-EN 62047-13:2012
- Erscheinungsdatum
- 2012
- Organisation
- ES-UNE
- Letzte Version
- UNE-EN 62047-13:2012
UNE-EN 62047-13:2012 Veröffentlichungsverlauf
- 2012 UNE-EN 62047-13:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 13: Biege- und Schertestmethoden zur Messung der Haftfestigkeit für MEMS-Strukturen (Genehmigt von AENOR im Juni 2012.)
