NF EN 62047-9:2012
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 9: Messung des Bondwiderstands zweier Wafer für MEMS

Standard-Nr.

NF EN 62047-9:2012

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

NF EN 62047-9:2012

NF EN 62047-9:2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 NF EN 62047-9:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 9: Messung des Bondwiderstands zweier Wafer für MEMS