NF EN 62047-14:2012
Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 14: Verfahren zur Messung der Formungsgrenzen von Metallschichtmaterialien

Standard-Nr.

NF EN 62047-14:2012

Erscheinungsdatum

2012

Organisation

Association Francaise de Normalisation

Letzte Version

NF EN 62047-14:2012

NF EN 62047-14:2012 Veröffentlichungsverlauf

• 2012 NF EN 62047-14:2012 Halbleiterbauelemente – Mikroelektromechanische Bauelemente – Teil 14: Verfahren zur Messung der Formungsgrenzen von Metallschichtmaterialien