T/ZSA 38-2020
Experimentelle Methode für Eigenspannungen in SiC-Wafern (Englische Version)
- Standard-Nr.
- T/ZSA 38-2020
- Sprachen
- Chinesisch, Verfügbar auf Englisch
- Erscheinungsdatum
- 2020
- Organisation
- Group Standards of the People's Republic of China
- Letzte Version
- T/ZSA 38-2020
T/ZSA 38-2020 Veröffentlichungsverlauf
- 2020 T/ZSA 38-2020 Experimentelle Methode für Eigenspannungen in SiC-Wafern
